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業(yè)務詳情

全自動減薄機GR-1251
全自動減薄機GR-1251

全自動減薄機GR-1251

產(chǎn)品分類：

關鍵詞：

源頭廠家，自主研發(fā)，支持定制，一年質(zhì)保，終身售后

全自動減薄機GR-1251.jpg
  • 產(chǎn)品描述

  • 技術特點
    ●支持軸向進給(In- Feed)磨削原理;
    ●設備配有在線測量儀單元，精確控制減薄厚度;
    ●配有具有自主產(chǎn)權的12英寸超精密空氣主軸;
    ●粗磨和精磨軌跡重合技術，有效提高減薄加工穩(wěn)定性，保證加工精度;
    ●設備具備擴展功能，可與單軸拋光機、多功能晶圓保護膜處理設備組成聯(lián)機系統(tǒng)，實現(xiàn)晶圓減薄到去應力技術的一體化。


    性能指標

    全自動減薄機

    GR-1251

    最大加工物尺寸

    Φ300mm

    主軸

    主軸數(shù)量

    2

    輸出功率

    7.5KW

    轉速

    1000-4000rpm

    Z軸

    行程

    120mm

    進給速度

    0.00001?0.08mm/s

    最大返回速度

    50mm/s

    分辨率

    0.1μm

    承片臺數(shù)量

    3

    工作臺轉速

    0-300rpm

    減薄精度

    片內(nèi)厚度偏差

    <3μm

    片間厚度偏差

    <±3μm

    表面粗糙度Ra

    <0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)

    測量儀

    測量范圍

    0-1800μm

    分辨率

    0.1μm

    重復精度

    ±0.5μm

    其他規(guī)格

    外形尺寸(WxDxH)

    1445mmx3330mmx1895mm

    設備重量

    ≈5000 kg

     

     

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